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超洁净制造的研究与发展  
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【英文篇名】 Research and Development of Ultra-clean Manufacturing
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【作者】 白清顺; 郭永博; 陈家轩; 卢礼华; 张庆春; 张飞虎; 赵航; 袁晓东; 梁迎春;
【英文作者】 BAI Qingshun; GUO Yongbo; CHEN Jiaxuan; LU Lihua; ZHANG Qingchun; ZHANG Feihu; ZHAO Hang; YUAN Xiaodong; LIANG Yingchun; Mechanical and Electrical Engineering; Harbin Institute of Technology; Research Center of Laser Fusion; China Academy of Engineering Physics;
【作者单位】 哈尔滨工业大学机电工程学院; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【文献出处】 机械工程学报 , Journal of Mechanical Engineering, 编辑部邮箱 2016年 19期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 超洁净制造; 洁净度; 污染物; 制造学科;
【英文关键词】 ultra-clean manufacturing; cleanness; contamination; manufacturing discipline;
【摘要】 制造学科是随着科学的演进和技术的进步不断地发展和变化的一个学科。结合激光聚变、电子制造、航空航天以及医疗器械等领域对洁净的需求,首次提出了超洁净制造的新概念,并对超洁净制造的内涵进行了界定。在上述相关领域中,表面污染物的演化和演变将对器件的性能和功能产生重要的影响。采用制造领域的新方法和新手段获得超洁净表面,并实现其工作时超洁净状态的维持是制约上述领域发展的瓶颈问题。在综合分析超洁净制造应用领域的基础上,提出超洁净制造基础理论和关键技术研究所面临的挑战,分析超洁净制造的技术内涵和研究内容,并针对相关领域中高洁净度的获得和保持技术进行了剖析。最后,提出超洁净制造未来发展的科学问题。旨在通过超洁净制造的研究为制造科学与工程提供新的发展思路,拓展并提升其应用的领域,服务于重大科学工程和重要技术领域的发展。
【英文摘要】 Manufacturing discipline is a subject that develops and changes continuously with the evolution of science and the progress of technology. The concept of ultra-clean manufacturing(UCM) is initially proposed. The intension and extension of the ultra-clean manufacturing is defined according to the demand for cleanliness in the field of laser fusion, electronics manufacturing, aeronautics, astronautics and medical device, etc. In the related fields mentioned, the evolution of the surface contamination can brin...
【基金】 国家自然科学基金重点(51535003); 中国工程物理研究院重大科技专项(2007)资助项目
【更新日期】 2016-10-20
【分类号】 TB49
【正文快照】 0前言1随着零件加工精度的不断提高,与加工质量息息相关的洁净问题开始引起人们的重视,表面洁净度在国家安全、国防战略、国计民生等诸多领域的要求也越来越高,并受到了国际社会的高度重视。精密超精密加工零件的表面洁净度和许多因素有关,主要包括材料特性、加工工艺、加工环?

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