节点文献
微纳米结构的电驱动模塑成形工艺及其界面物理行为研究
【摘要】 <正>纳米压印技术具有低成本、高效率、高分辨率的优势,被国际半导体技术路线图(I T R S)列为22n m以下节点集成电路制造的候选技术之一,被工业界寄予了厚望。尽管纳米压印理论上可以等比例复制任意模板结构,但是压印载荷的存在会引起纳米结构变形和位置偏移,制约了纳米压印技术的产业化应用。为了使纳米压印过程摆脱对外部载荷的依赖,本
- 【文献出处】 金属加工(冷加工) ,Metal Working(Metal Cutting) , 编辑部邮箱 ,2016年01期
- 【分类号】TN405;TB383.1
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