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不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较  
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【英文篇名】 Comparison Among Different Interferometers for Measuring Power Spectral Density of Optical Elements
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【作者】 杨相会; 沈卫星; 张雪洁; 马晓君;
【英文作者】 Yang Xianghui; Shen Weixing; Zhang Xuejie; Ma Xiaojun; National Laboratory on High Power Laser and Physics; Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics; Chinese Academy of Sciences; University of Chinese Academy of Sciences;
【作者单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室; 中国科学院大学;
【文献出处】 中国激光 , Chinese Journal of Lasers, 编辑部邮箱 2016年 09期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 测量; 功率谱密度; 干涉仪; 中频波面误差; 仪器传递函数;
【英文关键词】 measurement; power spectral density; interferometer; mid-spatial frequency wavefront error; instrument transform function;
【摘要】 为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明,不同干涉仪对中高频信息的响应度不同;干涉仪分辨率越高,响应度越高。利用仪器传递函数(ITF)曲线对实测PSD分布进行了修正,获得了较为真实的PSD分布。在某些频率范围内,标定的ITF曲线和实际响应仍存在差异。
【英文摘要】 In order to investigate the response law of different interferometers to the mid-spatial frequency errors and obtain the relatively true power spectral density(PSD)distribution,the 4D AccuFiz,ZYGO DynaFiz and ZYGO GPI interferometers are respectively used to measure the periodic ripples and scratch samples,and the comparative analysis of the measured one-dimension PSD curves is made.The results show that the responsivities to the mid-and high-spatial frequency information are different for different interfe...
【更新日期】 2016-10-31
【分类号】 TH744.3
【正文快照】 为了尽可能地提高高功率固体激光装置的输出能量,要求光学元件具有很高的波面质量[1]。根据大口径光学元件波面畸变对强激光束传输的影响,波面误差可分为三个频段,其中空间周期在0.12~33mm频段的波面误差为中频波面误差[2]。中频波面误差严重威胁高功率激光系统的运行安全,是光

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