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比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热  
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【英文篇名】 Investigation of Naturel Convention Heat Transfer Around Microscale Silicon Nitride Surface Using Comparative Method
【下载频次】 ★★
【作者】 黄正兴; 关经纬; 吴昊; 余隽; 唐祯安;
【英文作者】 HUANG Zhengxing; GUAN Jingwei; WU Hao; YU jun; TANG Zhenan; School of Electronic Science and Technology; Dalian university of technology;
【作者单位】 大连理工大学电子科学与技术学院;
【文献出处】 电子器件 , Chinese Journal of Electron Devices, 编辑部邮箱 2016年 06期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 微细尺度; 自然对流换热; 比较法; 微热板;
【英文关键词】 microscale; naturel convention heat transfer; comparative method; micro-hotplate;
【摘要】 微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题。利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真。结果表明:面积为43.5 mm×43.5 mm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10~(-5)W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×10~4W/(m~2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数。
【英文摘要】 Microscale natural convetion heat transfer is very different with that at macro scale. Comparative method is used to investigate naturel convention heat transfer around horizontal surface of the microscale silicon nitride.Micro Hot Plate(MHP)with activity area of 43.5 mm×43.5 mm,which is manufactured by standard CMOS and simple post-CMOS processes,is used for measurement.And accuracy of the method is studied by finite element simulation. The results show that the air conductance of horizontal silicon nitrid...
【基金】 国家自然科学基金项目(61131004); 中央高校基本科研业务费项目(DUT14LAB11)
【更新日期】 2016-12-22
【分类号】 TK124
【正文快照】 许多微细尺度下的物理现象与常规尺度的有很大不同[1],比如当物体尺寸缩小106倍时,物体的比表面积就增大106倍,导致与此相关的力、燃烧、流动和传热现象产生很大的变化。对于微细尺度传热研究来说,它是20世纪80年代为解决微电子器件冷却问题发展起来的[2],之后引起了广泛关注和

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