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低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构影响的研究  
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【英文篇名】 Effect on microstructure of single layer graphene in low temperature oxygen plasma treatment
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【作者】 邓海君; 王权;
【英文作者】 DENG Haijun; WANG Quan; School of Mechanical Engineering; Jiangsu University; State Key Lab of Transducer Technology; Chinese Academy of Sciences;
【作者单位】 江苏大学机械工程学院; 中科院传感技术国家重点实验室;
【文献出处】 电子元件与材料 , Electronic Components and Materials, 编辑部邮箱 2016年 02期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 低温氧等离子体; 化学气相沉积; 石墨烯; 拉曼光谱; XPS; 原子力显微镜;
【英文关键词】 low temperature oxygen plasma; CVD; graphene; Raman spectra; XPS; AFM;
【摘要】 运用低温氧等离子体对化学气相沉积法生长的单层石墨烯进行处理,通过拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪来表征处理前后的变化,重点探讨了低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构的影响。在拉曼光谱中,处理后的石墨烯出现了明显的D峰和D′峰,同时G峰和2D峰也出现了明显的退化,而G峰峰位右移,2D峰峰位左移。通过X射线光电子能谱表征,表明处理后向石墨烯中引入了较多的官能团。利用原子力显微镜研究了处理前后SiO_2/Si基底上石墨烯的表面形貌,发现低温氧等离子体处理后石墨烯表面高度明显增加,同时褶皱减少。
【英文摘要】 Single layer graphene prepared by chemical vapor deposition(CVD) was treated by low temperature oxygen plasma. Raman spectrometer and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) were used to characterize the changes before and after the treatment. And then the effects on microstructure were discussed. Significantly enhanced D-band, D′-band and decreased 2D-band were found in the Raman spectra, and right shift occurred to G-band and left shift occurred to 2D-band after the low temperature oxygen plasma treatment. ...
【基金】 国家自然科学基金资助(No.51175238); 江苏省“六大人才高峰”高层次人才选拔培养项目资助(No.ZBZZ-031); 江苏高校优势学科建设工程项目
【更新日期】 2016-03-08
【分类号】 O613.71
【正文快照】 单层石墨烯是一种完全由碳原子组成的零带隙二维晶体材料,在组成结构中,碳原子以六角形排列成蜂窝状晶格[1-3]。自从Geim和Novoselov等[4]在2004年通过机械剥离法得到单层石墨烯后,单层石墨烯由于具有优越的机械性能[5]、高比表面积和超高的电子迁移率[6]等优异性质,成为了国内

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