基于固高平台的宏微两级精密定位系统-中国学术期刊网络出版总库

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基于固高平台的宏微两级精密定位系统

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【下载频次】	★★★
【作者】	梁学佳; 葛红宇; 张博; 范伟; 郭玉明;
【作者单位】	南京工程学院自动化学院;
【文献出处】	中国科技信息 , China Science and Technology Information, 编辑部邮箱 2015年 Z3期期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊
【摘要】	<正>精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术,定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。宏微两级精密定位平台技术采用宏、微两级运动相结合的控制方式,具有行程长、响应快、定位精度高等优势,是上述问题的有效解决方案;定位过程的大行程宏运动一般采用旋转伺服电机结合精密滚珠丝杠或直线电机直接驱
【基金】	江苏省高校科研成果产业化推进项目(JHZD2012-5); 全国大学生实践创新训练计划项目(201311276018Z)
【更新日期】	2015-09-01
【分类号】	TP273
【正文快照】	精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术,定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。宏微两级精密定位平台技术采用宏、微两级运动相结

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