非水解溶胶-凝胶法低温制备硅酸锆薄膜-中国学术期刊网络出版总库

中国学术期刊网络出版总库

非水解溶胶-凝胶法低温制备硅酸锆薄膜

推荐 CAJ下载

【英文篇名】	Preparation of ZrSiO_4 Film via Non-Hydrolytic Sol-Gel Method at Low Temperature
【下载频次】	★★★★☆
【作者】	曹昉; 陈婷; 查剑锐; 江伟辉; 刘健敏; 吴倩;
【英文作者】	CAO Fang; CHEN Ting; ZHA Jianrui; JIANG Weihui; LIU Jianmin; WU Qian; School of Material Science and Engineering; Jingdezhen Ceramic Institute; National Engineering Research Center for Domestic ﹠ Building Ceramics;
【作者单位】	景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院; 国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心;
【文献出处】	陶瓷学报 , Journal of Ceramics, 编辑部邮箱 2015年 05期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	硅酸锆; 薄膜; 非水解溶胶-凝胶法; 致密;
【英文关键词】	zirconium silicate; film; non-hydrolytic sol-gel process; density;
【摘要】	采用非水解溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜,并对其相组成及表面形貌进行了研究。运用XRD和FE-SEM研究了热处理温度、前驱体浓度和镀膜次数对硅酸锆合成及薄膜形貌的影响。结果表明:在矿化剂Li F引入的条件下,750℃时可以合成硅酸锆粉体,850℃时可以制备出致密光滑的硅酸锆薄膜。与粉体的合成相比,薄膜生长属于二维传质,矿化剂作用于薄膜制备时,反应活性效果减弱。在该温度下,前驱体浓度为0.7 mol·L-1时,通过两次镀膜可以获得表面光滑,致密无开裂的硅酸锆薄膜,而继续升高热处理温度则会导致晶粒长大,加剧二次再结晶作用,薄膜的致密性下降。
【英文摘要】	Zirconium silicate(ZrSiO4) film was prepared on n-type silicon substrate via nonhydrolytic sol-gel method. The phase composition and the microstructure of samples were studied. Meanwhile, the influences of heat treatment temperature, precursor concentration and coating times on the microstructure and the morphology of ZrSiO4 film were investigated by means of XRD and FE-SEM. The results indicated that ZrSiO4 powder was synthesized at 750 ℃ by introducing mineralizer Li F. However, the dense and smooth ZrSiO...
【基金】	国家自然科学基金(编号:51362014,51402135); 江西省科技厅青年科学基金(编号:20142BAB216006); 江西省教育厅青年基金(编号:GJJ13621); 景德镇市级科技局项目(编号:701301-323)
【更新日期】	2015-12-07
【分类号】	TB383.2;O614.412
【正文快照】	0引言随着近几十年科学技术的发展,无机陶瓷膜材料逐渐在众多领域中引起了人们的关注[1,2]。硅酸锆薄膜属于无机陶瓷膜的一种,具有高介电常数[3,4]、良好的绝缘性、高熔点、良好的抗热震性、低热膨胀系数、低导热率,在高温及温度急剧变化的恶劣环境中具有稳定的抗腐蚀损伤性能[

xxx

【读者推荐文章】

中国期刊全文数据库中国优秀硕士学位论文全文数据库

【相似文献】

中国期刊全文数据库

中国优秀硕士学位论文全文数据库

中国博士学位论文全文数据库

中国重要会议论文全文数据库

中国重要报纸全文数据库

中国学术期刊网络出版总库

点击下列相关研究机构和相关文献作者，可以直接查到这些机构和作者被《中国知识资源总库》收录的其它文献，使您全面了解该机构和该作者的研究动态和历史。

【文献分类导航】从导航的最底层可以看到与本文研究领域相同的文献，从上层导航可以浏览更多相关领域的文献。

工业技术
　

一般工业技术
　　

工程材料学
　　　

数理科学和化学
　

化学
　　

无机化学
　　　

金属元素及其化合物
　　　　

第Ⅳ族金属元素及其化合物
　　　　　

钛副族（ⅣB族金属元素）
　　　　　　


	CNKI系列数据库编辑出版及版权所有：中国学术期刊(光盘版)电子杂志社中国知网技术服务及网站系统软件版权所有：清华同方知网(北京)技术有限公司其它数据库版权所有：各数据库编辑出版单位（见各库版权信息）京ICP证040431号互联网出版许可证新出网证（京）字008号

文献分类导航