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滚型纳米压印模具变形机理的研究  
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【英文篇名】 Mold Deformation in Roller-type Nanoimprint Lithography
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【作者】 兰红波; 徐方超; 李增辉; 梁森; 丁玉成;
【英文作者】 LAN Hongbo; XU Fangchao; LI Zenghui; LIANG Sen; DING Yucheng; Nanomanufacturing and Nano-Optoelectronics Lab; Qingdao Technological University; State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering; Xi'an Jiao Tong University;
【作者单位】 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【文献出处】 机械工程学报 , Journal of Mechanical Engineering, 编辑部邮箱 2015年 07期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 纳米压印; 模具变形; 滚轮模具; 柔性接触; 纳米制造;
【英文关键词】 nanoimprint lithography; mold deformation; roller mold; flexible contact; nanomanufacturing;
【摘要】 滚型纳米压印是一种高效、低成本批量化制造大面积微纳米结构的方法,已经被看成是最具有工业化应用前景的微纳米制造方法之一,同时也被认为是实现纳米压印技术从实验室到工业化应用的一个重要突破口。开展滚型纳米压印过程中模具变形机理和规律的研究,提出滚型纳米压印两种理论模型,揭示柔性接触滚轮模具变形的机理、规律和主要影响因素,阐述硬质接触和柔性接触两种压印方式显著区别和特点。该研究为探索减小弹性滚轮模具变形策略和方法,滚型纳米压印工艺要素的优化,以及提高滚型纳米压印复型精度和压印效率奠定了理论基础。
【英文摘要】 Roller-type nanoimprint lithography(NIL) is an emerging large-area nanopatterning method with high throughput, low cost and high resolution. It has been considered as a promising candidate for extremely low-cost mass production of micro/nanostructures and become the most potential manufacturing method for industrialization of nanoimprinting technology. The rolled mold deformation of roller-type NIL is investigated. Two theoretical models are proposed. Furthermore, the mechanism and influence factors of the ...
【基金】 国家自然科学基金纳米制造的基础研究重大研究计划(91023023);国家自然科学基金(51375250); 教育部新世纪优秀人才计划(NCET-11-1029); 青岛市创业创新领军人才计划(13-CX-18)资助项目
【更新日期】 2015-05-15
【分类号】 TN305.7
【正文快照】 0前言*滚型纳米压印光刻(Roller-type nanoimprintlithography)是一种全新大面积微纳米图形化的方法,它具有高分辨率、低成本和超高生产率的特点,尤其是它在大面积微纳结构连续和低成本制造方面具有非常突出的优势,以及既可用于硬质(刚性)衬底(基材)图形化,也可以用于柔性(卷状

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