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硅片传输机器人手臂结构优化设计方法  
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【英文篇名】 Method for Structural Optimization Design of Wafer Handling Robot Arms
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【作者】 刘延杰; 吴明月; 王刚; 蔡鹤皋;
【英文作者】 LIU Yanjie; WU Mingyue; WANG Gang; CAI Hegao; State Key Laboratory of Robotics and System; Harbin Institute of Technology;
【作者单位】 哈尔滨工业大学机器人技术及系统国家重点实验室;
【文献出处】 机械工程学报 , Journal of Mechanical Engineering, 编辑部邮箱 2015年 01期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 硅片传输机器人; 结构优化; 动态特性; 挠度; 静态形变;
【英文关键词】 wafer handling robot; structural optimization; dynamic optimization; deflection; static deformation;
【摘要】 提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁厚为优化参数的硅片传输机器人手臂结构优化设计方法。建立硅片传输机器人刚性杆柔性关节动力学模型,通过系统固有频率分析以及模态分析确定对轨迹精度影响较大的模态为一阶模态与二阶模态;通过分析结构参数对一阶与二阶固有频率影响的灵敏度以及权值选择小臂与末端手臂的质量作为优化参数;建立以手臂厚度为变量、以手臂结构尺寸为约束的手臂挠度模型与末端竖直方向静偏移模型,分析手臂厚度对末端竖直方向静偏移的影响规律并对末端手臂与小臂的厚度尺寸进行优化设计;对结构优化设计前后硅片传输机器人手臂的性能进行对比分析。结果表明:该方法在大幅度降低手臂质量的同时可显著提高硅片传输机器人手臂的一阶与二阶固有频率,大幅度降低了末端竖直方向上的静态偏移及内应力,大幅提高了系统竖直方向上的振动频率。
【英文摘要】 A method for structural optimization design of wafer handling robot is presented. The static deformation of the end effector is employed as the constraint of the method. The nature frequencies of the rigid links flexible joints system are selected as the optimization objectives, and the thicknesses of the arms are determined as the optimization parameters. The dynamic model of the rigid links and flexible joints is established, and the modal analysis is carried out to determine the orders of the modal which...
【基金】 国家高技术研究发展计划(863计划,2013AA040901); 黑龙江省科研机构创新能力提升专项计划(YC13D004)资助项目
【更新日期】 2015-07-28
【分类号】 TP242
【正文快照】 10前言半导体行业的迅速发展对半导体制造装备的性能提出了越来越高的要求。硅片传输机器人是半导体制造装备中的关键部件,其主要作用是实现硅片在各个工位之间的快速传递与精准定位。如图1 所示,典型硅片传输机器人手臂属于多柔性环节串联的刚性杆柔性关节的平面关节机器人。

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