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液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究  
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【英文篇名】 Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface
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【作者】 周连军; 王静宇; 田丽萍; 任华; 袁绶章; 李东升; 舒畅; 王晓娟; 谢刚; 周嘉鼎;
【英文作者】 ZHOU Lian-jun; WANG Jing-yu; TIAN Li-ping; REN Hua; YUAN Shou-zhang; LI Dong-sheng; SHU Chang; WANG Xiao-juan; XIE Gang; ZHOU Jia-ding; Kunming Institute of Physics;
【作者单位】 昆明物理研究所;
【文献出处】 红外技术 , Infrared Technology, 编辑部邮箱 2015年 06期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 碲镉汞; 化学腐蚀; 原子力显微镜; X射线光电子能谱;
【英文关键词】 HgCdTe; chemical etching; atomic force microscope(AFM); X-ray photoelectron spectroscopy(XPS);
【摘要】 应用不同浓度的溴甲醇溶液对液相外延碲镉汞表面进行化学腐蚀,并且测量了腐蚀速率。然后通过原子力显微镜及X射线光电子能谱分析了碲镉汞材料的表面状态。发现经过溴甲醇溶液腐蚀后,碲镉汞表面富碲现象较为严重而且表面粗糙度略有增加。
【英文摘要】 Different concentrations of Br2/Methanol solution were used for chemical etching on the LPE Hg Cd Te surface. Then we measured erosion rate and analysed surface conditions of Hg Cd Te through atomic force microscope(AFM) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). It was found that etching treatment of Hg Cd Te in Br2/Methanol solution introduces serious Te-rich surface and low rms roughness.
【更新日期】 2015-07-28
【分类号】 TN213
【正文快照】 0引言到目前为止,在各种已知的红外材料中,碲镉汞仍然是最重要的红外探测器材料,是高性能二代、三代红外焦平面器件的最佳选择[1]。碲镉汞材料的表面状态对于红外探测器的制备至关重要,表面/界面特性是影响器件暗电流的重要因素,而暗电流直接影响器件的性能[2]。表面处理后材料

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