中国学术期刊网络出版总库
  关闭
用AAO模板制备有序硅纳米线阵列  
   推荐 CAJ下载 PDF下载
【英文篇名】 Ordered Silicon Nanowire Array Prepared by AAO Template
【下载频次】 ★★★★★
【作者】 周鸿娟; 霍艳寅; 聂彩娜; 李壮志;
【英文作者】 ZHOU Hongjuan; HUO Yanyin; NIE Caina; LI Zhuangzhi; College of Physics Science and Information Engineering; Hebei Normal University; Hebei Advanced Thin Films Laboratory;
【作者单位】 河北师范大学物理科学与信息工程学院; 河北省新型薄膜材料实验室;
【文献出处】 河北师范大学学报(自然科学版) , Journal of Hebei Normal University(Natural Science Edition), 编辑部邮箱 2015年 03期  
期刊荣誉:ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 AAO模板; Pt/Ag双层金属薄膜; 金属辅助化学腐蚀; 有序硅纳米线阵列;
【英文关键词】 AAO template; Pt/Ag bilayer metal thin film; metal-assisted chemical etching; ordered silicon nanowire array;
【摘要】 利用二次氧化法制备了高度有序的多孔阳极氧化铝膜,以此膜为模板通过磁控溅射制备了多孔有序的Pt/Ag双层金属薄膜,将此金属薄膜转移到n型单晶硅片上,通过金属辅助化学刻蚀法刻蚀出有序单晶硅纳米线阵列.原子力显微镜和扫描电子显微镜观察发现,多孔阳极氧化铝膜及后续生长的多孔Pt/Ag双层金属薄膜都具有均匀分布、直径约45nm的纳米孔,以Pt/Ag双层金属薄膜为模板刻蚀得到的单晶硅纳米线具有与纳米孔同样的直径,且垂直硅衬底生长.
【英文摘要】 Highly ordered porous anodic alumina film is prepared by usinga two-step anodic oxidation method.The film is used asa template to fabricate ordered porous Pt/Ag bilayer metal thin film.The metal thin film is transferred onto n-type single crystal silicon wafer and used asa mask to fabricate silicon nanowire array by the metal-assisted chemical etching process.Atomic force microscopy and scanning electron microscopy observations reveal that both of the porous anodic aluminum oxide film and subsequent grown p...
【基金】 河北省重点基础研究项目(10965125D)
【更新日期】 2015-06-03
【分类号】 TB383.1;O613.72
【正文快照】 硅纳米线阵列具有优异的物理和化学性能,可广泛用于制作各种微电子器件、发光器件以及传感器的基本单元.对于硅纳米线的研究,一个重要目标是找到制备硅纳米线的最优方法,能够规模化制备,并能够精确控制其尺寸.Peng等[1-3]采用金属辅助化学腐蚀法,通过控制反应的温度、时间、腐?

xxx
【读者推荐文章】中国期刊全文数据库
【相似文献】
中国期刊全文数据库
中国优秀硕士学位论文全文数据库
中国博士学位论文全文数据库
中国重要会议论文全文数据库
中国重要报纸全文数据库
中国学术期刊网络出版总库
点击下列相关研究机构和相关文献作者,可以直接查到这些机构和作者被《中国知识资源总库》收录的其它文献,使您全面了解该机构和该作者的研究动态和历史。
【文献分类导航】从导航的最底层可以看到与本文研究领域相同的文献,从上层导航可以浏览更多相关领域的文献。

工业技术
  一般工业技术
   工程材料学
    智能材料

数理科学和化学
  化学
   无机化学
    非金属元素及其化合物
     第Ⅳ族非金属元素(碳和硅)及其化合物
      硅Si
  
 
  CNKI系列数据库编辑出版及版权所有:中国学术期刊(光盘版)电子杂志社
中国知网技术服务及网站系统软件版权所有:清华同方知网(北京)技术有限公司
其它数据库版权所有:各数据库编辑出版单位(见各库版权信息)
京ICP证040431号    互联网出版许可证 新出网证(京)字008号