热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响-中国学术期刊网络出版总库

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热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响

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【英文篇名】	Effect of Heat Treatment on Thermal Conductivity and Dielectric Properties of AlN Ceramics
【下载频次】	★★★★★
【作者】	何秀兰; 施磊; 巩庆东; 郭英奎; 叶枫;
【英文作者】	HE Xiulan; SHI Lei; GONG Qingdong; GUO Yingkui; YE Feng; School of Materials Science and Engineering; Harbin University of Science and Technology; Harbin Institute of Technology;
【作者单位】	哈尔滨理工大学材料科学与工程学院; 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;
【文献出处】	硅酸盐学报 , Journal of the Chinese Ceramic Society, 编辑部邮箱 2015年 09期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	热处理; 氮化铝陶瓷; 热导率; 介电性能;
【英文关键词】	heat treatment; aluminum nitride ceramics; thermal conductivity; dielectric property;
【摘要】	采用放电等离子烧结技术制备Al N陶瓷,并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对Al N陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明,Al N陶瓷经过热处理后,Al N晶粒进一步发育长大,尽可能实现面接触,材料中的晶间相分布更加合理。与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的Al N陶瓷相比,引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(Ca F2)的Al N陶瓷经过热处理后,在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下,材料热导率及介电损耗改善效果明显。
【英文摘要】	Aluminum nitride(Al N) ceramics prepared by a fast spark plasma sintering method were heat-treated by a vacuum pressureless sintering method. Effect of sintering additive on the phase composition, microstructure, thermal and dielectric properties of Al N ceramics during high-temperature heat treatment process was investigated. The results show that the heat treatment enhances the growth of Al N grains and the distribution of secondary phases. Compared to Al N ceramics with single rare earth oxide, the therm...
【基金】	国家自然科学基金(51302053)资助
【更新日期】	2015-10-10
【分类号】	TQ174.1
【正文快照】	氮化铝(Al N)陶瓷具有电阻率高、导热性好、介电性能适中及无毒等优异性能,在微电子行业备受关注[1–2]。由于Al N属于强共价键性化合物,难于制备高致密烧结体。放电等离子烧结技术(Sparkplasmas sintering,SPS)具有普通烧结方法无可比拟的优越性,可以快速实现陶瓷粉体的致密化

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