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YSZ/Al_2O_3复合薄膜高温绝缘层的研究  
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【英文篇名】 YSZ /Al_2O_3 high temperature resistant insulating multilayered thin film
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【作者】 杨晓东; 张洁; 蒋书文; 蒋洪川; 张万里;
【英文作者】 YANG Xiaodong; ZHANG Jie; JIANG Shuwen; JIANG Hongchuan; ZHANG Wanli; State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices; University of Electronic Science and Technology of China;
【作者单位】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【文献出处】 电子元件与材料 , Electronic Components and Materials, 编辑部邮箱 2015年 02期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 磁控溅射; 电子束蒸发; Al2O3; YSZ; 复合薄膜结构; 高温绝缘;
【英文关键词】 magnetron sputtering; electron beam evaporation; Al2O3; YSZ; multilayer thin film; high temperature insulation;
【摘要】 采用电子束蒸发、射频磁控溅射、等离子喷涂等方法,在镍基高温合金基底上制备YSZ(质量分数12%Y2O3稳定的Zr O2)、Al2O3复合薄膜结构绝缘层,并研究了复合薄膜结构绝缘层在室温到800℃范围内的绝缘特性,以及高温对复合薄膜晶体结构和表面形貌的影响。结果表明:晶态YSZ/非晶态YSZ/Al2O3结构绝缘层在室温下的绝缘电阻大于1.2 GΩ,在800℃大气环境下有150 kΩ左右的绝缘电阻。在室温到800℃范围内,随温度升高其绝缘电阻呈近指数下降的变化规律。经过在800℃大气环境中热处理8 h,YSZ的立方相结构未发生改变,Al2O3表面十分致密,表明该复合结构绝缘层薄膜具有良好的高温绝缘性能和稳定性。
【英文摘要】 YSZ(mass fraction of 12% Y2O3 stabilized Zr O2), Al2O3 insulating multilayered thin film was fabricated on nickel base alloy substrate by electron beam evaporation,RF magnetron sputtering, plasma spraying and etc. The insulating properties of the multilayered thin films from room temperature to 800 ℃ were studied, as well as the effects of annealing at high temperature on the crystal structure and surface morphology of insulation layer. The results show that the multilayered thin film of crystalline YSZ/amo...
【基金】 国家自然科学基金资助(No.61223002)
【更新日期】 2015-03-12
【分类号】 TG178
【正文快照】 目前,国内航空航天事业正处于飞速发展阶段,自主发动机的研发滞后成为制约我国航空航天事业发展的瓶颈。航空发动机的核心部件——涡轮叶片工作在高温、高振动、强气流、高热流密度等恶劣环境中,容易造成涡轮叶片损坏而使发动机出现故障。因此,在叶片表面制备可靠的传感器,对叶

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