陶瓷基Pt/ITO薄膜热电偶的制备与性能研究-中国学术期刊网络出版总库

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陶瓷基Pt/ITO薄膜热电偶的制备与性能研究

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【英文篇名】	Preparation and properties study of Pt / ITO thin-film thermocouple on ceramic substrates
【下载频次】	★★★★★
【作者】	刘海军; 蒋洪川; 吴勐; 赵晓辉; 蒋书文; 张万里;
【英文作者】	LIU Hai-jun; JIANG Hong-chuan; WU Meng; ZHAO Xiao-hui; JIANG Shu-wen; ZHANG Wan-li; State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices; University of Electronic Science and Technology of China;
【作者单位】	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【文献出处】	传感器与微系统 , Transducer and Microsystem Technologies, 编辑部邮箱 2015年 03期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	Pt/ITO薄膜热电偶; 射频磁控溅射; 静态标定; Seebeck系数;
【英文关键词】	Pt / ITO thin-film thermocouples; RF magnetron sputtering; static calibration; Seebeck coefficient;
【摘要】	为了准确测量涡轮叶片表面温度,采用掩模图形化和射频磁控溅射的方法,在Al2O3陶瓷基片上沉积Pt/ITO薄膜热电偶,并对其进行了静态标定。结果表明:Pt/ITO薄膜热电偶在1 000℃进行大气气氛退火,随着退火时间的增加,样品热电势输出曲线稳定性逐渐增强,Seebeck系数也较大,标定曲线均具有很好的线性度,退火5h的样品的最大测温误差仅为16.03℃,可在400~1100℃温度范围热循环中稳定工作约20h。ITO薄膜厚度对Pt/ITO薄膜热电偶热电性能几乎没有影响。
【英文摘要】	In order to measure the blade surface temperature precisely,Pt / ITO thin film thermocouples are deposited on Al2O3 ceramic substrates by shadow mask technique and RF magnetron sputtering. The thermoelectric properties of the samples are tested by static calibration. The results show that the stability of thermoelectric power output and the Seebeck coefficient of the thin film thermocouple are gradually improved with the increase of annealing time; calibration curves of all samples are of good linearity; th...
【基金】	四川省青年科技创新团队资助项目(2011JTD0006)
【更新日期】	2015-04-09
【分类号】	TH811
【正文快照】	0引言薄膜热电偶相较于线材热电偶,具有质量小、尺寸小、热容量小、响应时间短、准确度高,对测试部件周围环境影响小,不需要特殊加工和固定(直接沉积在部件表面),不破坏测试部件物理结构等优点[1~4]。因此,它可为航空发动机研制过程中涡轮叶片表面温度测量提供准确可靠的测试数

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