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H_2/CH_4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响  
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【英文篇名】 Effects of Flow Ratio of H_2 and CH_4 on Structure and Friction Properties of Hydrogen Diamond-like Carbon Films
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【作者】 吴金龙; 周晖; 郑军; 杨拉毛草; 张延帅; 胡汉军;
【英文作者】 WU Jin-long; ZHOU Hui; ZHENG Jun; YANG La-maocao; ZHANG Yan-shuai; HU Han-jun; Key Lab for Surface Engineering Technology; Lanzhou Institute of Physics;
【作者单位】 兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室;
【文献出处】 中国表面工程 , China Surface Engineering, 编辑部邮箱 2015年 01期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 DLC薄膜; H2/CH4; 流量比; 摩擦; 磨损;
【英文关键词】 DLC films; H2/CH4; flow ratio; friction; wear;
【摘要】 利用等离子体增强化学气相沉积法在Si(100)基体上制备不同H2/CH4流量比下的类金刚石薄膜,采用拉曼光谱、红外光谱、扫描电子显微镜(SEM)、纳米力学性能综合测试仪以及摩擦磨损试验机对薄膜的组织结构、力学以及摩擦学性能进行了分析。结果表明:该条件下制备的薄膜具有典型的类金刚石结构且膜中氢含量较高,薄膜表面光滑,膜层致密且均匀,薄膜的硬度及与基底的附着力均随着H2/CH4流量比的增加而降低。薄膜在大气环境下具有优异的摩擦学性能,在相同的载荷及转速条件下,H2/CH4流量比对薄膜的摩擦因数影响不大。当载荷为5N时,随着转速的增加,摩擦因数降低;而载荷为10N时,摩擦因数约为0.05,转速对其影响较小。薄膜的磨损率在10-8~10-7 mm3/Nm之间变化,且随H2/CH4流量比的增加而增大。
【英文摘要】 Various hydrogen contented diamond-like carbon films have been deposited on Si(100)wafers by PECVD technology.The effect of flow ratio of H2 and CH4on the friction and wear behaviors of hydrogen diamond-like carbon films had been investigated.The microstructure,cross section morphology,and mechanics characteristics were obtained by Raman spectroscopy,infrared spectrometry,scanning electronic microscope(SEM),nano-hardness and nano-scratch tester.The tribological properties of films in ambient atmosphere at d...
【基金】 装备预研基金(51318060205)
【更新日期】 2015-03-24
【分类号】 TB383.2
【正文快照】 引文格式:吴金龙,周晖,郑军,等.H2/CH4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响[J].中国表面工程,2015,28(1):42-48.Wu J L,Zhou H,Zheng J,et al.Effects of flow ratio of H2and CH4on structure and friction properties of hydrogen dia-mond-like carbon films[J].Chin

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