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超声挤压膜动特性系数及影响因素研究  
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【英文篇名】 Research on Dynamic Characteristics of Ultrasonic Squeeze Film and Its Influence Factors
【下载频次】 ★★☆
【作者】 马希直; 胡伟; 王挺;
【英文作者】 Ma Xizhi; Hu Wei; Wang Ting; Nanjing University of Aeronautics and Astronautics;
【作者单位】 南京航空航天大学;
【文献出处】 中国机械工程 , China Mechanical Engineering, 编辑部邮箱 2014年 08期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 超声悬浮; 气体挤压膜; 动特性系数; 激励频率;
【英文关键词】 ultrasonic levitation; gas squeeze film; dynamic characteristics; excitation frequency;
【摘要】 应用流体动力润滑理论建立了圆盘挤压膜的动特性系数模型,并应用非线性数值计算方法对模型进行了求解,给出了一些特定参数下的挤压气膜动特性系数。分析了稳态膜厚、激励振幅以及激励频率对动特性系数的影响,发现激励参数对挤压气膜动特性影响显著。最后对超声挤压膜的静态刚度系数进行了测量,并和理论分析数值进行了比较,发现两者在数量级上一致。
【英文摘要】 The present paper established the models of dynamic characteristics of squeeze gas film by means of compressible gas hydrodynamic lubricating theory,and these models were solved by nonlinear value methods.In order to understand the regularities of dynamic characteristics of the squeeze film,some values of dynamic characteristics of squeeze film at some specific cases were provided.The influences of the stead film thickness,excitation amplitude and frequency on the coefficients of dynamic characteristics wer...
【基金】 国家自然科学基金资助项目(50975138)
【更新日期】 2014-06-10
【分类号】 TH133
【正文快照】 0引言近场超声悬浮也称为气体挤压膜悬浮,可实现无磨损、低摩擦的支承,可用于纳微器件的加工设备或超净环境下集成电路硅片加工的无接触输运装置和高精密仪器仪表的定位支承元件中。挤压膜轴承属于气体轴承的一种,具有摩擦因数小、支承精度高、无污染等优点,是一种理想的支承部

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