外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响-中国学术期刊网络出版总库

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外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响

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【英文篇名】	Effects of Magnetic Field on Low-Power Inductively-Coupled Microwave Micro-Plasma Excitation
【下载频次】	★★★
【作者】	廖斌; 王新刚; 黄加华; 朱守正;
【英文作者】	LIAO Bin; WANG Xingang; HUANG Jiahua; ZHU Shouzheng; School of Information and Science Technology; East China Normal University;
【作者单位】	华东师范大学信息学院电子系;
【文献出处】	西安交通大学学报 , Journal of Xi'an Jiaotong University, 编辑部邮箱 2014年 06期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	微波; 微等离子体; 螺旋天线; 外加磁场; 激励功率;
【英文关键词】	microwave; micro-plasma; spiral antenna; applied magnetic field; igniting power;
【摘要】	为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响。实验结果表明:当空气气压为666.6Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15%。该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景。
【英文摘要】	A method to decrease the igniting power of microwave microplasma through adding magnetic field is proposed to further miniaturize low-power microwave micro-plasma source.Simulation on a planar microstrip tapered spiral antenna at 2.45GHz is performed to obtain the optimal structure.Values of S parameters are measured through applying the ring magnets of360,990and 2 840 Gs on the spiral antenna.Finally,the excitation effects of low-power microwave micro-plasma are investigated by changing the magnetic field ...
【基金】	国家自然科学基金资助项目(61072007)
【更新日期】	2014-07-23
【分类号】	O53
【正文快照】	小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术。它通过微小功率微波激励起小尺寸的等离子体,如用不超过3~5W的微波功率使气体电离,可产生尺寸为10 mm甚至0.2mm的等离子体。与其他等离子体相比,小功率微波微等

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