铝铜薄膜复合技术的研究现状-中国学术期刊网络出版总库

中国学术期刊网络出版总库

关闭

铝铜薄膜复合技术的研究现状

推荐 CAJ下载

PDF下载

【英文篇名】	Research Progress of Aluminum/Copper Thin Film Composite
【下载频次】	★★★★★
【作者】	陈丽; 邢丕峰; 魏成富; 郭建军; 蒋斌;
【英文作者】	CHEN Li; XING Pifeng; WEI Chengfu; GUO Jianjun; JIANG Bin; Research Center of Laser Fusion; China Academy of Engineering Physics; School of Material Science and Engineering; Xihua University; Mianyang Normal University;
【作者单位】	中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 西华大学材料学院; 绵阳师范学院;
【文献出处】	热加工工艺 , Hot Working Technology, 编辑部邮箱 2014年 22期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	铝; 铜; 薄膜; 气相沉积; 扩散连接;
【英文关键词】	aluminum; copper; film; vapor deposition; diffusion bonding;
【摘要】	综述了铝、铜薄膜复合技术的研究现状,介绍了气相沉积法和扩散连接方法对铝、铜薄膜的复合。气相沉积分为化学气相沉积和物理气相沉积,最受人们青睐的是物理气相沉积中的磁控溅射沉积法;扩散连接方法中讲述了扩散连接的过程,扩散工艺参数对扩散层组织结构、扩散层厚度的影响。
【英文摘要】	The vapor deposition and diffusion bonding of aluminum/copper film was summarized. The vapor deposition can be divide into chemical vapor deposition and physical vapor deposition. The most popular is magnetron sputtering deposition in physical vapor deposition. The process of diffusion bonding was described. The effects of diffusion process parameters on the diffusion layer structure and the thickness of the diffusion layer during diffusion bonding were studied.
【更新日期】	2014-12-26
【分类号】	TB43
【正文快照】	铝铜复合件由于低密度、高强度、抗侵蚀、抗磨损和良好的导电导热性等优良综合性能,在电力、化工、机械制造、微电子和航空航天工业中的应用非常广泛[1-3]。例如,用真空扩散焊连接的铝和铜的密封接头可用于制造冷冻设备和水循环装置,以及电力设备的电器接头;铝铜合金薄膜由于其

xxx

【相似文献】

中国期刊全文数据库

中国优秀硕士学位论文全文数据库

中国博士学位论文全文数据库

中国重要会议论文全文数据库

中国重要报纸全文数据库

中国学术期刊网络出版总库

点击下列相关研究机构和相关文献作者，可以直接查到这些机构和作者被《中国知识资源总库》收录的其它文献，使您全面了解该机构和该作者的研究动态和历史。

【文献分类导航】从导航的最底层可以看到与本文研究领域相同的文献，从上层导航可以浏览更多相关领域的文献。

工业技术
　

一般工业技术
　　

工业通用技术与设备
　　　

薄膜技术


	CNKI系列数据库编辑出版及版权所有：中国学术期刊(光盘版)电子杂志社中国知网技术服务及网站系统软件版权所有：清华同方知网(北京)技术有限公司其它数据库版权所有：各数据库编辑出版单位（见各库版权信息）京ICP证040431号互联网出版许可证新出网证（京）字008号

相似文献

文献分类导航