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薄膜结合能测量技术的最新进展
【摘要】 薄膜目前被广泛应用于各种高科技领域中。薄膜的力学性能,尤其是结合能,决定了薄膜器件的力学稳定性、抗疲劳能力及其使用寿命,因而对薄膜结合能的精确测定显得尤为重要。作者简要介绍了薄膜结合能测定的几种传统方法,包括划痕法、压印法、拉伸法、鼓泡法和剥离法。在此基础上,作者综述了最新发展起来的基于薄膜在载荷下发生形变的翘曲法,对该方法的测量原理、力学机制和适用范围进行了深入讨论。
【基金】 浙江省大学生科技创新项目(编号2013R409032);国家自然科学基金资助课题(编号11204283)
- 【文献出处】 科技信息 ,Science & Technology Information , 编辑部邮箱 ,2014年12期
- 【分类号】TB383.2
- 【被引频次】2
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