一维大长度计量检测系统研究

【摘要】 对一维大长度导轨进行改造,通过移动平台的运动控制和精确定位,激光干涉仪数据的实时获取,环境参数的自动化采集以及被检仪器的远程计算机自动化操控,实现对大长度计量器具的自动化检测。介绍了系统的原理、结构组成、关键技术以及精度测试实验。实验结果表明,一维大长度计量检测系统测量不确定度达到U=0.5μm+3 × 10^-7L（k=2） 。更多还原