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高敏感度微机械陀螺阵列的设计  
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【英文篇名】 Design of a MEMS gyroscope array with high sensitivity
【下载频次】 ★★★★☆
【作者】 郝燕玲; 刘博; 周广涛;
【英文作者】 Hao Yanling; Liu Bo; Zhou Guangtao; College of Automation; Harbin Engineering University;
【作者单位】 哈尔滨工程大学自动化学院;
【文献出处】 华中科技大学学报(自然科学版) , Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition), 编辑部邮箱 2014年 03期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 微机电系统; 陀螺阵列; 多自由度; 模态匹配; 增益增强;
【英文关键词】 micro electromechanical system(MEMS); gyroscope array; multiple DOF; mode-matc-hing; high gain;
【摘要】 提出了一种新型的四自由度陀螺设计方式,结构设计基于科罗奥利效应采用多敏感模态振动单元组合阵列的形式.与传统二自由度陀螺比较,该陀螺阵列在提高增益的同时保持了本身具有的鲁棒性.在四自由度陀螺的设计中,两个具备固有中心频率差值的完全二自由度振动单元被应用在敏感模态中.通过设定中心频率差值,综合考虑了提高陀螺敏感度和稳定性的因素.陀螺阵列通过联合两个敏感模态振动单元的输出,达到提高敏感模态增益和增强系统敏感度的目的.仿真结果表明:与单个敏感模态振动单元相比,陀螺阵列的增益增加了8dB;而且在敏感模态和驱动模态分别产生了220和160Hz范围内的3dB带宽;两个模态的带宽彼此高度匹配,并且为整个系统提供了160Hz的带宽.陀螺阵列对于结构参数的变化和制造误差都有很强的鲁棒性,从而说明该设计能满足实际需求.
【英文摘要】 The design of a four degree-of-freedom(DOF)MEMS vibratory gyroscope was reported. Multiple sense-mode oscillators were utilized in the MEMS gyroscope array design,which were based on the Coriolis-induced motion.Compared with the conventional gyroscopes,the gain was improved and the robustness was retained at the same time.In the 4-DOF vibratory gyroscope design,two complete 2-DOF sense-mode oscillators with constant spaced resonance frequencies were utilized in sensemode.The sensitivity and the robustness w...
【基金】 国家自然科学基金资助项目(61203225); 中国博士后科学基金资助项目(2012M510083)
【更新日期】 2014-05-06
【分类号】 V241.5
【正文快照】 作为一种将能量高效转移至敏感模态的全固态角速率测量传感器,微机械陀螺具有体积小、能耗低、价格低廉等优点,因而引起了众多专家学者的关注.在传统微机械陀螺结构设计中,驱动模态和敏感模态被认为是单自由度振荡系统,通过匹配二个中心频率来获得高增益[1-3].Cenk Acar等[4]对

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