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紫外探测器用CdS晶片制备工艺研究  
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【英文篇名】 Study on Preparation of Cadmium Sulfide for Ultraviolet Detector
【下载频次】 ★★☆
【作者】 黄江平; 何雯瑾; 袁俊; 王羽; 李玉英; 杨登全;
【英文作者】 HUANG Jiang-ping; HE Wen-jin; YUAN Jun; WANG Yu; LI Yu-ying; YANG Deng-quan; Kunming Institute of physics;
【作者单位】 昆明物理研究所;
【文献出处】 红外技术 , Infrared Technology, 编辑部邮箱 2014年 06期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 紫外探测器; CdS晶片; 抛光; 红外透过率; 表面粗糙度;
【英文关键词】 ultraviolet detector; CdS wafer; polishing; infrared transmission; surface roughness;
【摘要】 介绍了叠层紫外/红外双色探测器结构特点、工作原理及选择CdS晶体材料制作紫外探测器光敏元的理论依据。阐述了CdS晶片制备及表面抛光质量的重要性和必要性。针对磨抛工艺对CdS紫外探测器性能的影响进行了研究。对比了几种抛光液对晶片表面的抛光效果,并进行了扫描电镜、红外透过率和表面粗糙度分析,得到了抛光后晶片表面的扫描电子显微镜(SEM)照片和CdS晶片厚度与红外透过率的关系曲线及CdS晶片厚度与振动噪声的关系。通过理论和实践的结合,确定了最佳抛光材料及最佳晶片厚度,研制出了完全能满足紫外探测器工艺要求的CdS探测器晶片。
【英文摘要】 This paper introduces the UV/IR detector structure characteristics, working principle, the theory basis of selecting cadmium sulfide for UV detector. The importance and necessity of selecting cadmium surface polishing quality were presented. The emphasis on the fabrication technology of CdS wafer of the mechanical lapping and polishing was described in details. The best polishing liquid and thickness of the CdS was achieved by comparing and analyzing the surface of wafers SEM photos, infrared transmission a...
【更新日期】 2014-08-13
【分类号】 TN23
【正文快照】 0引言在战场上的防空制导中,利用目标的红外辐射特性可以进行精确的被动式探测和跟踪,但单一红外波段的制导会受到诱饵弹和太阳光的干扰,攻击效果大幅度降低。采用紫外和红外复合制导以后,可以有效解决这一问题,大大提高导弹的抗干扰能力。据报道,美国“毒刺”(Stinger)导弹就?

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