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电场条件下脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒成核生长动力学研究  
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【英文篇名】 Dynamics of Growth and Nucleation for Si Nano-crystal Grains Prepared by Pulsed Laser Ablation in Electric Field
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【作者】 邓泽超; 胡自强; 丁学成; 褚立志; 秦爱丽; 傅广生; 王英龙;
【英文作者】 DENG Ze-chao; HU Zi-qiang; DING Xue-cheng; CHU Li-zhi; QIN Ai-li; FU Guang-sheng; WANG Ying-long; Key Laboratory of Photo-Electronics Information Materials of Hebei Province; College of Physics Science and Technology; Hebei University;
【作者单位】 河北大学物理科学与技术学院; 河北省光电信息材料重点实验室;
【文献出处】 光子学报 , Acta Photonica Sinica, 编辑部邮箱 2014年 12期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 纳米晶粒; 成核生长动力学; 脉冲激光烧蚀; 外加电场;
【英文关键词】 Nano-crystal grain; Dynamics of nucleation and growth; Pulsed laser ablation; Extra electric field;
【摘要】 在室温、10Pa氩气环境氛围中,引入垂直于烧蚀羽辉轴线的外加直流电场,采用脉冲激光烧蚀技术制备了一系列纳米硅晶薄膜,衬底分布于以烧蚀点为圆心的弧形支架上.扫描电子显微镜、喇曼散射谱和X射线衍射谱检测结果表明:晶粒平均尺寸随着电压的增加逐渐变大,且靠近接地极板处的晶粒尺寸比与之对称角度处的略大;薄膜中晶粒面密度随着电压的增加先减小后增大而后再减小.
【英文摘要】 Si nano-crystal films were prepared by pulsed laser ablation in extra direct current electric field that vertical to plume axis in Ar gas of 10 Pa at room temperature.Substrates were fixed on the arc bracket with the ablation spot as the circular center.The morphology and composition of films were characterized by scanning electron microscopy graphs,Raman scattering spectra and x-ray diffraction spectra.It drew that the average size of grains increasing with the addition of voltage,and the size of grains ne...
【基金】 国家重点基础研究发展计划前期专项基金(No.2011CB612305); 河北省自然科学基金(No.E2012201035、A2015201217); 河北省高等学校科学研究项目(No.Q2012084)资助
【更新日期】 2015-01-22
【分类号】 TQ127.2;TB383.1
【正文快照】 0引言近年来,随着纳米技术的飞速发展,纳米硅晶粒和纳米硅晶薄膜在微电子技术[1]、太阳能电池[2]和生物医学[3]等领域的应用也越来越广泛.与此同时,相关器件的性能改善和效率提高对晶粒尺寸以及薄膜面密度提出了更高要求,但由于晶粒成核生长动力学过程本质尚不是很清楚,较难实?

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