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基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法  
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【英文篇名】 Nondestructive measurement of amorphous layers in single-crystal diamond surface by laser microraman spectroscopy
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【作者】 兀伟; 徐宗伟; 李万里; 刘婷; 曹克雄; 陈津平;
【英文作者】 WU Wei; XU Zong-wei; LI Wan-li; LIU Ting; CAO Ke-xiong; CHEN Jin-ping; State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments; Centre of Micro Nano Manufacturing Technology; Tianjin University;
【作者单位】 天津大学精密仪器与光电子工程学院; 天津市微纳制造技术工程中心;
【文献出处】 分析试验室 , Chinese Journal of Analysis Laboratory, 编辑部邮箱 2014年 11期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 拉曼光谱; 非晶层; 聚焦离子束; 无损检测; 单晶金刚石;
【英文关键词】 Raman spectroscopy; Amorphous layer; Focused ion beam; Nondestructive measurement; Singlecrystal diamond;
【摘要】 提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法。以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性。方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径。实验证明,对于厚度小于50 nm的非晶层,方法检测误差小于1.5 nm。
【英文摘要】 Laser micro-Raman spectroscopy was used to examine single-crystal diamond bombarded by focus ion beam(FIB).It was found that near-surface amorphous layers were generated by FIB milling process and there was a strong correlation between the thickness of the amorphous layer and the Raman intensity ratio of the amorphous phase to the crystalline phase.This finding provides the feasibility of a fast,nondestructive,quantitative and inexpensive measurement approach for subsurface damages of diamond by using laser...
【基金】 国家自然基金项目(51275559,50935001); 中物院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF13008)资助
【更新日期】 2014-12-23
【分类号】 O657.37;TQ164
【正文快照】 拉曼光谱技术一直是工业生产和实验室研究的重要手段[1,2],碳材料的拉曼光谱检测技术在拉曼检测技术中十分活跃。一些常用的碳材料都具有其非常典型的特征峰,这些特征峰为碳材料的表征提供了非常丰富的晶格结构信息,为不同材料的检测提供了可靠的依据[3~5]。聚焦离子束加工技术

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