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有机电子器件低温柔性薄膜封装ICP-PECVD系统

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【作者】 刘键；

【机构】 中国科学院微电子研究所；

【关键词】 ICP-PECVD； 柔性薄膜；
  • 【文献出处】 电子工业专用设备 ,Equipment for Electronic Products Manufacturing , 编辑部邮箱 ,2014年07期
  • 【分类号】TN304.055
  • 【被引频次】2
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