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多晶硅铸锭炉热场底部改进的数值模拟研究
【摘要】 多晶硅铸锭炉热场的优化改进对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文结合计算机数值模拟,对多晶硅铸锭炉热场的底部进行优化,并分析了这项优惠对温场、流场和界面的影响。模拟结果表明,热场优化后,杂质分布更加均匀,更有利于定向凝固过程。
【基金】 承浙江省科技计划项目(2008C21170)资助,承江苏大学材料学院袁志钟副教授指导
- 【文献出处】 科技资讯 ,Science & Technology Information , 编辑部邮箱 ,2013年13期
- 【分类号】TQ127.2
- 【被引频次】4
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