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高气压直流辉光CH_4/H_2等离子体的气相过程诊断  
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【英文篇名】 A diagnosis of gas-phase processes in a high pressure DC CH_4 /H_2 plasma
【下载频次】 ★★
【作者】 郑仕健; 丁芳; 谢新华; 汤中亮; 张一川; 李唤; 杨宽; 朱晓东;
【英文作者】 Zheng Shi-Jian Ding Fang Xie Xin-Hua Tang Zhong-Liang Zhang Yi-Chuan Li Huan Yang Kuan Zhu Xiao-Dong ( CAS key Laboratory of Basic Plasma Physics; Department of Modern Physics; University of Science and Technology of China; Hefei 230026; China );
【作者单位】 中国科学技术大学近代物理系; 中国科学院基础等离子体物理重点实验室;
【文献出处】 物理学报 , Acta Physica Sinica, 编辑部邮箱 2013年 16期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 高气压直流等离子体; 光发射谱; 质谱;
【英文关键词】 high pressure DC plasma; optical emission spectroscopy; mass spectroscopy;
【摘要】 对高气压(约100Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断.在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异.正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程.从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高.在高气压下,高甲烷浓度导致C2,C2H2及C2H4增多而C2H6减少.表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强.
【英文摘要】 In this work, gas phase processes in a high pressure (～100 Torr) DC hydrocarbon plasma are investigated in situ by optical emission spectroscopy and mass spectroscopy. In the high pressure plasma, optical emission characteristics of glow layers are obviously different. C2 , CH dominated band spectra and discrete spectra are distinctively observed in the positive column, whereas the emission intensity is found to decrease in the anode region. In the cathode region, a large number of complicated spectra are d...
【基金】 国家自然科学基金(批准号:11075158);国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号:J1103207)资助的课题~~
【更新日期】 2013-10-02
【分类号】 O53
【正文快照】 1引言高气压直流辉光碳氢等离子体因其具有的独特优势,近年来被广泛应用于功能材料的沉积[13].作为一种典型的复杂反应体系,碳氢等离子体中存在着大量的活性碳氢基团,它们通过一系列复杂的反应产生许多微米或纳米量级的带电颗粒,这些带电颗粒在电场的作用下能够进一步通过自组?

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