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温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器

Temperature compensated acoustic sensor with a high sensitivity and a high resolution

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【Author】 JIANG Guo-zhu;ZHANG Hui;LIU Zhao-qun;ZHANG Shu-yi;FAN Li;Laboratory of Modern Acoustics,Institute of Acoustics,Nanjing University;

【机构】南京大学声学研究所；

【摘要】 <正>0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工艺能让FBAR设计得很薄(<1μm),更薄的FBAR能得到更高的共振频率(>1 GHz)从而得到更高的传感灵敏度[2-3]。相关研究表明,基于氮化铝和氧化锌压电薄膜的更多还原

【关键词】温度补偿；石英晶体传感器；压电薄膜；通讯领域；高分辨率；探测领域；传感器件；膜体；氮化铝；补偿层；

【文献出处】声学技术 ,Technical Acoustics , 编辑部邮箱 ,2013年S1期

【分类号】TP212
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