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高精度球面检测中调整误差的精确校正  
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【英文篇名】 Accurate Calibration of Misalignment in High-Precision Spherical Surface Testing
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【作者】 王道档; 杨甬英; 陈晓钰; 邵卫红; 卓永模;
【英文作者】 Wang Daodang1; Yang Yongying2; Chen Xiaoyu2; Shao Weihong2; Zhuo Yongmo2(1.College of Metrology and Measurement Engineering; China Jiliang University; Hangzhou 310018; China; 2.State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation; Zhejiang University; Hangzhou 310027; China);
【作者单位】 中国计量学院计量测试工程学院; 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
【文献出处】 纳米技术与精密工程 , Nanotechnology and Precision Engineering, 编辑部邮箱 2013年 01期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 调整误差校正; Zernike系数; 球面检测; 波前离焦; 波前倾斜;
【英文关键词】 misalignment calibration; Zernike coefficients; spherical surface testing; wavefront defocus; wavefront tilt;
【摘要】 针对高精度球面检测中球面的调整误差影响,分别研究了波前离焦和倾斜所引入的Zernike像差项,并以此为基础,提出了基于Zernike系数的高精度球面调整误差校正方法.利用Zygo干涉仪对大数值孔径的待测球面进行了检测,实验中对待测球面同时引入波前离焦和倾斜误差,再分别运用所提出的校正方法和传统的消倾斜离焦校正方法得到波面数据并进行对比,进而验证了所提出的校正方法的可行性.实验结果表明,利用该方法可有效地校正大数值孔径球面存在调整误差时所引入的球面像差,并且实验中的校正精度达到了0.002λ(λ为检测光波长).提出的基于Zernike系数的球面调整误差校正方法可降低对于调节机构的精度以及检测人员的经验要求,在高精度球面检测中具有非常高的实际应用价值.
【英文摘要】 Based on the detailed analysis of the Zernike aberrations of wavefront errors,including the wavefront defocus and tilt,introduced by test surface misalignment in the high-precision spherical surface testing,a method for the misalignment calibration using Zernike coefficients was put forward in this paper.The experimental validation of the proposed calibration method was carried out with Zygo interferometer,in which a high-numerical-aperture spherical surface was tested by introducing both the wavefront defo...
【更新日期】 2013-02-26
【分类号】 TH74
【正文快照】 光学加工技术的不断发展对光学面形检测仪器的测量精度提出了很高的要求,其中光学球面检测是一个非常重要的方面.点衍射干涉仪[1-3]和绝对检测技术[4-5]的提出及发展为实现0.001λ(λ为检测光波长)量级的高精度面形检测提供了可行的方法.在球面干涉检测中,除了参考波存在像差和

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