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热释电探测器PZT晶片制备工艺研究  
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【英文篇名】 Study on Fabrication of Pyroelectric Detector PZT Wafer
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【作者】 黄江平; 王羽; 袁俊; 王学森; 郭雨航; 余瑞云;
【英文作者】 HUANG Jiang-ping; WANG Yu; YUAN Jun; WANG Xue-sun; GUO Yu-hang; YU Rui-yun(Kunming Institute of physics; Kunming 650223; China);
【作者单位】 昆明物理研究所;
【文献出处】 红外技术 , Infrared Technology, 编辑部邮箱 2013年 06期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 热释电探测器; 锆钛酸铅(PZT)材料; PZT晶片; 研磨抛光;
【英文关键词】 pyroelectric detector; PZT; PZT wafer; grinding and polishing;
【摘要】 介绍了热释电探测器PZT晶片制备工艺及选择锆钛酸铅(PZT)陶瓷材料制作敏感元的理论依据,阐述了晶片磨抛理论,对磨抛质量影响因素进行了细致分析。对比了几种抛光液对晶片表面的抛光效果,并进行了扫描电镜和表面粗糙度分析,得到了抛光后晶片表面的扫描电子显微镜(SEM)照片和晶片表面形态,确定了最佳抛光材料。通过理论和实践的结合,研制出了完全能满足器件工艺要求的热释电探测器晶片。
【英文摘要】 This paper introduces the study of pyroelectric detector PZT wafer and the theory basis of choice of lead zirconate titanate(PZT)as sensitive element material.It also describes polishing and grinding theory.Factors affecting the polishing quality are analyzed in detail.The crystal surfaces polished by several different polishing liquid are analyzed by SEM,and SEM photos,surface roughness analysis and crystal surface morphology were gained.The best polishing material was determined.Through the combination of...
【更新日期】 2013-08-05
【分类号】 TN215
【正文快照】 0引言热释电探测器PZT晶片制备工艺是我们研制非制冷红外热释电探测器的关键技术之一。其晶片的厚度、厚度均匀性和表面质量直接影响到器件的性能。精密的材料磨抛制约着器件的探测率、响应率和均匀性。为了获得高性能及耐高过载的红外热释电探测器,它的核心部件——芯片即光敏

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