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组成对锆钛酸铅铁电薄膜电性能影响的研究进展

Research Progress on Effect of Composition on the Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate Ferroelectric Thin Films

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【Author】 ZHONG Shi-xing 1,CAI Wei 1,FU Chun-lin 1,2,LIU Kai-hua 1(1.School of Metallurgical and Materials Engineering,Chongqing University of Science and Technology,Chongqing 401331,China;2.State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China)

【机构】重庆科技学院冶金与材料工程学院；电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；

【摘要】锆钛酸铅材料因具有优异的介电、压电和铁电性被广泛用于制作电容器、压电器件和铁电随机存储器等功能器件。本文综述了锆钛酸铅铁电薄膜材料中锆钛比、掺杂种类及掺量对其介电性和铁电性的影响,并提出了亟待解决的问题。更多还原

【Abstract】 Lead zirconate titanate is widely used as capacitor,piezoelectric devices,ferroelectric random access memory and so on because of its excellent dielectric,piezoelectric and ferroelectric properties.Effects of Zr/Ti ratio and dopant on dielectric and ferroelectric properties of lead zirconate titanate thin films are summarized in this paper.Finally,some problems on doping of lead zirconate titanate thin films are proposed.更多还原

【关键词】锆钛酸铅；组成；掺杂；介电；铁电；
【Key words】 lead zirconate titanate； composition； doping； dielectric； ferroelectric；

【基金】国家自然科学基金(51102288);重庆市自然基金重点项目(CSTC2011BA4027);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金(KFJJ201104);重庆市教委科学技术研究项目(KJ131402);大学生科技创新训练计划项目(2012028)

【文献出处】硅酸盐通报 ,Bulletin of the Chinese Ceramic Society , 编辑部邮箱 ,2013年07期

【分类号】TM27
【被引频次】6
【下载频次】324

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