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毫米器件半自动微装配系统研制

Development of semi-automatic micro-assembly system for millimeter device

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【作者】 吴文荣余大海裘祖荣黄心汉王红莲罗敏

【Author】 WU Wen-rong1,YU Da-hai1,QIU Zu-rong2,HUANG Xin-han3,WANG Hong-lian1,LUO Min1(1.Laser Fusion Research Center,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,China;2.State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, Tianjin University,Tianjin 300192,China;3.Department of Control Science & Engineering, Huazhong University of Science & Technology,Wuhan 430074,China)

【机构】 中国工程物理研究院激光聚变研究中心天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室华中科技大学控制科学与工程系

【摘要】 微靶是惯性约束聚变研究中的一个关键器件,针对该器件研制了一种半自动微装配系统,该系统可以对由两半腔(直径约800~1000μm,长1 mm左右)和微球(直径200~500μm)组成的微器件进行半自动装配。详细介绍了该系统的结构与组成及其所采用的关键技术与解决方案,分析了装配过程显微在线检测系统误差影响因素,并建立了测量误差数学模型。装配实验表明:该系统的装配精度≤10μm。

【Abstract】 Micro-target is an important device for inertial confinement fusion(ICF)research.A semi-automatic micro-assembly system is developed,which can be used to assemble micro inertial confinement fusion(ICF)target which is made up of two half-hohlraum(diameter range 800 -1 000 μm,length is about 1 mm)and a capsule(diameter range 200 -500 μm).Structure and compostion of the system is described,and the key technology and solution is introduced.The effect factors and mathematic model of online measuring system error for assembling process is analyzed.The results of target assembly experiments show that the precision of this system is not more than 10 μm.

【基金】 国家高技术基金资助项目
  • 【文献出处】 传感器与微系统 ,Transducer and Microsystem Technologies , 编辑部邮箱 ,2013年01期
  • 【分类号】TL632.1
  • 【被引频次】22
  • 【下载频次】301
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