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激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究  
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【英文篇名】 Design and Experimental Study of Polarimetric Interferometric Nanopositioing System
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【作者】 许素安; 钱飞; 谢敏; 黄艳岩; 富雅琼; 陈乐; 孙坚;
【英文作者】 XU Su'an; QIAN Fei; XIE Min; HUANG Yanyan; FU Yaqiong; CHEN Le; SUN Jian; College of Mechanical and Electrical Engineering; China Jiliang University;
【作者单位】 中国计量学院机电学院;
【文献出处】 传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2013年 12期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 偏振干涉; 定位控制; 实验研究; 误差分析;
【英文关键词】 polarimetric interferometric; positioning control; experimental study; error analysis;
【摘要】 为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中,用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等,可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36 000份,使用波长为633 nm的激光源,可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究,得到量化值。经不确定度评估计算,在标准实验室环境条件下,对于微米级行程的位移,其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。
【英文摘要】 Aiming at the requirement of higher accuracy of positioning in industry and metrology,a positionning method is proposed based on polarimetric interferometer. In this interferometric system,a polarimeter combined with polarization beamsplitter and polarizer has replaced photo-detector. The fringe interpolation of output laser beam can be reached at 36 000,for a 633 nm laser source,the potential theoretical resolution is 10 pm. The measurements have both carried out by own-developed polarimetric interferomete...
【基金】 国家自然科学基金项目(51105348); 第45批教育部留学回国启动基金项目(2013R10066); 浙江省钱江人才计划项目(2013R1066)
【更新日期】 2014-04-15
【分类号】 TH744.3
【正文快照】 当前,在现代机械加工、生物工程、纳米科学与技术、先进光学器件及半导体等领域的推动下,精密测量与精密加工的精度水平正从微米量级向纳米量级以至亚纳米量级过渡。直接决定精密测量与加工精度的超精密定位方法与技术是这些领域的研究重点之一[1-5]。精密定位多采用电容测微仪

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