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锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响
【摘要】 采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为。性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中,介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。
【基金】 陕西省教育厅自然科学项目(08JK462);陕西省科技厅自然科学项目(SJ08-ZT04)
- 【文献出处】 中国科技信息 ,China Science and Technology Information , 编辑部邮箱 ,2012年06期
- 【分类号】TB383.2
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