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反应离子刻蚀法制绒在单晶硅太阳电池上的应用

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【作者】 严婷婷； 凌俊； 杨健； 陈如龙； 张光春；

【机构】 无锡尚德太阳能电力有限公司；

【摘要】 研究了在预制绒基片上进行RIE织构化处理,得到的硅片表面具有很好的陷光效果,平均反射率仅为6%左右。通过热氧化法改善表面损伤,发现在温度900℃下,氧化膜厚度为40nm时,可得到较高的有效少子寿命,由此制得电池的内量子效率(IQE)、短路电流密度均有提高。

【关键词】 反应离子刻蚀； 单晶硅太阳电池； 绒面； 短路电流密度；
  • 【分类号】TM914.4
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