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Tecnai G20透射电镜高压故障的排除与维修

Checking and Maintenance of HV Troubleshooting in Tecnai G20 TEM

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【作者】 张峰； 诸葛兰剑； 高伟建；

【Author】 ZHANG Feng,ZHUGE Lan-jian,GAO Wei-jian(Analysis and Testing Center,Soochow University,Suzhou 215123,China)

【机构】 苏州大学分析测试中心；

【摘要】 介绍了SF6绝缘气体分解引发的电子枪高压故障的查找和排除方法,以及Tecnai G20透射电镜日常维护的一些经验与体会.

【Abstract】 The checking and removal methods for the HV troubleshooting caused by SF6 decomposition,and some experiences in daily maintenance on Tecnai G20 TEM are introduced.

【关键词】 透射电镜； 高压； 故障；
【Key words】 TEM； HV； troubleshooting；
  • 【文献出处】 分析测试技术与仪器 ,Analysis and Testing Technology and Instruments , 编辑部邮箱 ,2012年03期
  • 【分类号】R197.39
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