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原子级加工技术的研究
Researches on Technology of Atomic Nanofabrication
【摘要】 分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。
【Abstract】 Two kinds of operation mode of scanning tunneling microscope(STM) are analyzed,i.e.,constant-height mode and constant-current mode for STM.Successful applications of practical nanofabrication for scanning probe microscope are taken for examples,show that it is feasible for nanofabrication technology in both theory and practice.
- 【文献出处】 电加工与模具 ,Electromachining & Mould , 编辑部邮箱 ,2012年04期
- 【分类号】TG66
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