力平衡加速度传感器原理设计

【摘要】 在传统的机械传感器的基础上,采用差动电容结构,利用反馈原理,设计了差容式力平衡加速度传感器。该传感器把被测的加速度转换为电容器的电容量的变化,将加速度的变化转变为电压值,大大提高了传感器的灵敏度、非线性及测量范围,可广泛应用于地震、建筑、交通、航空等各领域。更多还原