【作者】 李蕾蕾； 于宗光； 肖志强； 周昕杰；

【Author】 Li Lei-Lei1)4) Yu Zong-Guang1)4) Xiao Zhi-Qiang2)4) Zhou Xin-Jie3) 1)(School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an 710071, China) 2)(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) 3)(School of Electronic Science and Engineering, South-East University, Nanjing 210096, China) 4)(The 58th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Wuxi 214035, China)

【机构】 西安电子科技大学微电子学院； 中国电子科技集团公司第五十八研究所； 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室； 东南大学电子科学与工程学院；