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静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性  
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【作者】 岳东旭; 于虹; 袁为民;
【作者单位】 东南大学电子科学与工程学院MEMS教育部重点实验室;
【文献出处】 光学精密工程 , Optics and Precision Engineering, 编辑部邮箱 2011年 03期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【摘要】 <正>当微谐振器的尺寸缩小到nm量级时其工作频率已达到MHz、GHz甚至更高,研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文详细分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模
【更新日期】 2011-06-07
【分类号】 TN61
【正文快照】 当微谐振器的尺寸缩小到nm量级时其工作频率已达到MHz、GHz甚至更高,研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文详细分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,讨论了非线性产生的物理机制,为实验分析提供理论依据。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振?

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