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CVD法制备高纯钛形核过程动力学分析

The analysis of CVD process for high purity titanium

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【Author】 FANG Min1,CHEN Xiao-hu1,SONG Jian-min2 and HAO Tao1(1.College of Materials Science and Metallurgical Engineering,Guizhou University,Guiyang 550003;2.College of Materials Science and Materials Processing Engineering,Dalian Communication University,Dalian 116028,China)

【机构】贵州大学材料科学与冶金工程学院；大连交通大学材料科学与材料加工工程学院；

【摘要】实验用了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛,对高纯钛制备中的形核过程进行了热力学和动力学分析,实验得出:沉积区温度应控制在1350K~1450K。更多还原

【Abstract】 Experiments using chemical vapor deposition(CVD) preparation of high pure titanium,preparation of high pure titanium nucleation process of thermodynamic and kinetic analysis were made.Experiment results: deposition zone temperature should be controlled at 1350K～1450K.更多还原

【关键词】 CVD；高纯钛；动力学；
【Key words】 CVD； high purity； titanium； dynamics；

【文献出处】轻金属 ,Light Metals , 编辑部邮箱 ,2010年02期

【分类号】TF823
【被引频次】3
【下载频次】247

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