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氢氦离子注入机的研制

A 200 keV H2+/He+ ion implanter

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【作者】 陈立华； 崔保群； 马瑞刚； 郑永男； 姜冲； 马鹰俊； 黄青华； 蒋渭生；

【Author】 CHEN Lihua CUI Baoqun MA Ruigang ZHENG Yongnan JIANG Chong MA Yingjun HUANG Qinghua JIANG Weisheng (China Institute of Atomic Energy,Beijing 102413,China)

【机构】 中国原子能科学研究院；

【摘要】 本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经调试,各项主要指标已达设计要求,工作稳定可靠。

【Abstract】 In this paper,we report a H2+/He+ ion implanter developed at CIAE,aiming at producing 200 keV H2+ and He+ beams simultaneously.The ion optics,ion source,electronics and mechanical designs are described in detail.Ion ratio of the beams can be adjusted to meet the requirements of experiment.Test results show that the H2+/He+ ion implanter works reliably and specifications of the design are achieved.

【关键词】 离子注入机； 透镜； 离子源； 质谱；
【Key words】 Ion implanter； Lens； Ion source； Mass spectrum；
【基金】 973项目——ADS资助
  • 【分类号】TL503.3
  • 【被引频次】1
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