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基于改进型精密整流电路的电容式微位移传感器设计  
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【英文篇名】 Design of Capacitive Micro-Displacement Sensor Based on Improved Precision Rectifier Circuit
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【作者】 郑银涛; 郝育闻; 金明录;
【英文作者】 ZHENG Yintao; HAO Yuwen; JIN Minglu(Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering; Dalian University of Technology; Dalian Liaoning 116024; China);
【作者单位】 大连理工大学电子信息与电气工程学部;
【文献出处】 传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2010年 11期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 电容式; 微位移传感器; 精密整流; 非线性;
【英文关键词】 capacitive; micro-displacement sensor; precision rectifier; nonlinearity;
【摘要】 介绍了一种改进型精密整流电路,该电路基于一个模拟多路复用器,无需二极管和匹配电阻,克服了传统整流电路中的非线性问题。同时基于该精密整流电路设计了一种电容式微位移传感器。测试结果表明,在0~1.6mm的量程内,该电容式微位移传感器的非线性误差小于0.6‰,灵敏度约为4.3V/mm。
【英文摘要】 An improved precision rectifier circuit based on the analog multiplexer was described.Different from the traditional methods,this circuit reduces the nonlinearity without using diodes or matched resistors.And a capacitive micro-displacement sensor was designed based on this improved circuit.The analysis on the experimental results shows that the linearity of this sensor is better than 0.6‰ within the measure range of 0~1.6 mm.And the sensitivity is 4.3 V/mm.
【更新日期】 2010-12-16
【分类号】 TP212
【正文快照】 电容测微技术是最近几十年发展起来的一种新型测试技术。因其具有非接触、结构简单、精度高、动态性能好及频带宽等优点,而广泛应用于测量位移、厚度、加速度、液位、压力、角度、角速度、振动、流速等领域[1-3]。电容式微位移传感器是目前应用最广泛的电容测微技术之一。电容?

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