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改良西门子工艺生产多晶硅的安全问题

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【作者】 司恭；

【机构】 中国地质大学(武汉)工程学院； 河南省安全科学技术研究中心；

【摘要】 本文结合我国多晶硅行业的实际情况,针对改良西门子工艺的特点,对多晶硅生产过程中涉及的危险有害物质和危险有害因素进行了系统全面的分析,并提出了合理可行的安全对策和建议。

【关键词】 改良西门子工艺； 多晶硅； 安全；
  • 【分类号】TQ127.2
  • 【被引频次】9
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