实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪-中国学术期刊网络出版总库

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实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

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【英文篇名】	Sinusoidal Phase Modulating Laser Diode Interferometer for Real-Time Surface Profile Measurement
【下载频次】	★★★☆
【作者】	谭兴文; 何国田;
【英文作者】	TAN Xing-wen1; 2; HE Guo-tian3; 41.School of Physical Science and Technology; Southwest University; Chongqing 400715; China; 2.College of Electrical Engineering; Chongqing University; Chongqing 400020; 3.College of Physical and Information Technology; Chongqing Normal University; Chongqing 400047; 4.Shanghai Hengyi Optics and Fine Mechanics Co; Ltd; Shanghai 201800;
【作者单位】	西南大学物理科学与技术学院; 重庆大学电气工程学院; 重庆师范大学物理学与信息技术学院; 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【文献出处】	西南师范大学学报(自然科学版) , Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 编辑部邮箱 2009年 02期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	实时测量; 表面形貌; 正弦相位调制干涉仪; 鉴相; 时序控制;
【英文关键词】	real-time measurement; surface profile; SPM interferometer; phase discrimination; sequential controlling;
【摘要】	设计了一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪,对其抗干扰的实时测量原理进行了分析.在该正弦相位调制干涉仪中,利用高速图像传感器探测干涉信号,该干涉信号通过信号处理电路实时鉴相得到被测表面所对应的相位分布,即可实时获得待测量物体的表面形貌.在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,测量点为30×30个,测量时间小于10 ms,重复测量精度为4.3 nm.实验结果表明该正弦相位调制干涉仪的有效性.
【英文摘要】	The optical interferometry for the surface profile measurement,with an ability of high-accuracy and non-contact measurement,has a wide application in industrial production and scientific research.In this paper,a sinusoidal phase modulating(SPM) interferometer to realize real-time surface profile measurement is proposed,and its measurement principle is analyzed theoretically.In the SPM interferometer,the interference signal is detected by a high speed image sensor based on a low-speed CCD and discriminated b...
【基金】	重庆市教委资助项目(KJ080821)
【更新日期】	2009-06-01
【分类号】	TH744.3
【正文快照】	表面形貌是物体最重要的特征之一,它是保证和提高机械、电子及光学器件性能和质量的关键因素.表面形貌测量技术现已成为测试计量领域的一个研究热点[1-6].表面形貌测量可分为接触式与非接触式测量两种.接触式测量存在易划伤被测表面、精度低等问题.非接触式测量方法有电容法、?

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