【摘要】 采用多靶磁控溅射仪分别在室温和衬底温度为300℃条件下制备了具有精确组分为Tb0.27Dy0.73Fe2的[Tb/Fe/Dy]n纳米多层膜.研究结果表明,纳米多层膜在沉积过程中形成了微柱状结构,薄膜样品的磁性能和超磁致伸缩性能表明薄膜样品具有明显的垂直各向异性.尽管纳米多层膜具有垂直各向异性,但仍具有超磁致伸缩性能.特别是衬底温度300℃制备的纳米多层膜,由于Laves相R-Fe2纳米晶的析出使得超磁致伸缩性能有了显著的提高.在很小的外磁场(0.18T)时,衬底温度300℃条件下制备的样品超磁致伸缩值为89.3ppm(1ppm=1×10-6),约为室温条件下制备的样品在此磁场下超磁致伸缩值23.5ppm的4倍.同时还研究了垂直磁各向异性薄膜的磁化过程与超磁致伸缩性能的关系.更多还原