节点文献

常温纳米压印软模具变形机理研究

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 兰红波； 丁玉成； 刘红忠； 阙艳荣； 陶巍巍； 李寒松； 卢秉恒；

【机构】 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室； 山东大学机械工程学院；

【摘要】 通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.

【关键词】 纳米压印； 软模具； 变形； 抗蚀剂减薄； 复型精度； 数值模拟；
【基金】 国家重点基础研究发展计划(“973计划”)(批准号:2003CB716203);国家自然科学基金(批准号:50775176);山东省自然科学基金(批准号:Y2007F49)资助项目
  • 【文献出处】 中国科学(E辑:技术科学) ,Science in China(Series E:Technological Sciences) , 编辑部邮箱 ,2009年01期
  • 【分类号】TG76
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】529
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)