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万工显纵横向滑板的移动精度分析与调修
【摘要】 万工显是显微系统类常用光学量仪,文章从影响光学计量仪器精度的直线度系统、垂直度系统等方面,分析影响万工显精度的原因,并采取相应调整措施以达到分析和调整类似仪器的直线度、平行度、垂直度系统的目的。
- 【文献出处】 工业计量 ,Industrial Measurement , 编辑部邮箱 ,2009年S2期
- 【分类号】TH741
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【摘要】 万工显是显微系统类常用光学量仪,文章从影响光学计量仪器精度的直线度系统、垂直度系统等方面,分析影响万工显精度的原因,并采取相应调整措施以达到分析和调整类似仪器的直线度、平行度、垂直度系统的目的。