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高气压非平衡等离子体源的小型化研究
【摘要】 大气压非平衡等离子体源输出的等离子体浓度是电离电场中能耗率、气体粒子动量的的函数.实验表明,等离子体源中的能耗率、气体粒子动量增加时,将大幅度提高其等离子体浓度.当外加激励电场能耗率为2.18W·h/m3、气体粒子平均动量为109×10?22g·m/s时,一个体积仅为2.5cm3的等离子体源处理气量为12m3/h,其输出等离子体浓度达到1010cm?3以上,这将为化学工业、环保工程及军事应用提供小型、低能耗的高浓度等离子体源.
【关键词】 大气压强电场电离放电;
非平衡等离子体源;
等离子体浓度;
气体粒子动量;
【基金】 国家自然科学基金(批准号:50578020,50778028);国家高技术研究发展计划(编号:2008AA06Z317)资助项目
- 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,2008年10期
- 【分类号】O534
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