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光电测量二维微角位移的新方法研究与实现
【摘要】 为了解决对旋转台定位精度校准的同时又能对其台面俯仰角度进行测量的问题,提出了一种光电测量二维微角位移的新方法。在激光自准直光路中,采用数字信号处理器(DSP)获取准直物镜焦平面上V字形分划板在自扫描光电二极管列阵(SSPA)上两次成像之间的位移量,根据光学成像原理与像的外形特征,建立了像的平面位移量与被测物体二维角位移量的关系式,计算出角位移量。此方法测量精度达到0.9″,满足校准的需要。
【关键词】 二维微角位移；
激光自准直；
数字信号处理器；
自扫描光电二极管列阵；
V形分划板；
- 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2008年09期
- 【分类号】TH822
- 【被引频次】7
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